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フォトリフレクタンス非破壊評価システム

フォトリフレクタンス非破壊評価システム

フォトリフレクタンス非破壊評価システムは変調反射分光法を用いてエピウエハーのバンドギャップの評価を行うシステムです。

デモ測定も承ります。

【特徴】

  • 非破壊非接触測定
  • ヘテロ接合界面の評価に最適
  • ナイトライド半導体など発光しやすい半導体も独自の光学系により除去しより正確な波長解析を実現
  • 平置き設計なのでウエハや粉体のサンプルでも安心してセッティングできます。
  • 自動ステージでのマッピング測定にてウエハの組成のばらつきや歪みを可視化できます。
  • サンプルに応じてレーザーやランプ光源を選択できます。

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