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フォトルミネッセンス法結晶解析装置

PLM-1000a NEW!

高速XYステージによるハイスループットPLマッパーです。

GaN等の半導体ウエハのPL強度、ピーク波長を測定できます。

【特徴】

  • 短時間でウエハのPL強度、ピーク波長を測定できます。
  • PLと同時に膜厚の測定が可能です。
  • 各種レーザー波長に対応致します。

PL-82IGA

PL-82IGA

極低温、高分解能のフォトルミネッセンス装置です。
高純度Si結晶の不純物評価や各種半導体開発段階の評価にご使用いただけます

【特徴】

  • InGaAsアレイ検出器を搭載
  • ガラスデュワーが設置しやすい低床設計
  • サンプル位置を確認できるCCDカメラ付

UVR-2000MA

UVR-2000MA

【特徴】

  • 50mmのウエハがマッピングできます
  • 低温測定可能
  • サンプルが平置きなのでセッティングが容易です
  • レーザー複数台設置にも対応します(オプション)

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