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LCD用レーザリペア SL455/SL465シリーズ

LCD用レーザリペア SL455/SL465シリーズ

LCDの製造工程で生じた欠陥部分にレーザを照射し、薄膜パターンのカットやコンタクト(溶融接合)、または配線間をレーザCVD膜で接続して良品化しLCDの歩留を向上させる装置です。高解像度の観察光学系の搭載により、レビュー装置としての機能も有します。

特徴・利点

高安定で高品位なレーザリペア

LD励起レーザ発振器、光学系を搭載し、LCD加工に最適なレーザビーム品質、高精度の出力制御を可能にし、長期にわたり高品質で安定なレーザリペア加工を実現しています。

レーザCVDによる結線修正機能

独自のガスウィンドウ方式レーザCVDにより、ショート系欠陥修正のみならず、オープン系欠陥の高品質/高速修正を実現します。

用途

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