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半導体ウェハ用レーザマーカ SL473DS

半導体ウェハ用レーザマーカ SL473DS

SiウェハやGaAs等の化合物半導体ウェハの加工に最適な完全空冷LD励起SHGレーザ(Λ=523nm)を搭載した、高品質なウエハマーキング装置です。

4~6インチウェハに対応。3インチと8インチはオプション対応となります。

また、複数サイズ対応もオプションで可能です。

特徴・利点

ベストセラー機SL473D2の後継機種

国産で初めてソフトマーキングに対応し、ベストセラー機となったSL473D2の後継機種として開発されたSL473DSは、上位機種SL473F2/Gにおける印字品質の高さ、高機能さを惜しみなく盛り込んだコストパフォーマンスに優れた製品です。

完全空冷型LD励起SHG(グリーン)レーザを搭載することより、ソフトマーキング品質を格段に改善しただけでなく、従来機の約1/3の消費電力と冷却水不要に伴うランニング・メンテナンスコストの大幅な削減を達成しております。

裏面マーキング機能(オプション)も、自動切換え方式に改善され、表面/裏面の選択が容易になりました。更に、従来好評であった化合物半導体向けの3インチウエハもオプション対応可能です。

操作性、信頼性の向上

FCパソコンおよび15インチ液晶タッチパネル、OSにWindows XPを採用し、操作性、信頼性を大幅に向上しました。

長時間のメンテナンスフリーを実現

レーザ発振器のON/OFF、電流コントロールを含むレーザパワー調整を完全自動化し、長期間のメンテナンスフリーを実現しました。

ネットワーク接続でのカスタマイズ対応

SECS・/GEM-HSMS等、ネットワーク接続でのカスタマイズ対応が可能です。

用途

3インチ~8インチウエハ(3インチと8インチはオプション対応)
※2インチウエハ対応については、ご相談願います。その他のオプション対応についてもご相談に応じます。

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